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硅芯超声波清洗的数据

[导读]通过对沾污的类型以及清洗原理进行分析探讨,并采取相应的工艺改进措施;达到节约费用,减少排放,改善清洗质量的目的。

硅芯作为改良西门子法工艺生产多晶硅,还原炉内多晶硅料沉积的载体,它的表面洁净程度直接影响到多晶硅成品的品质。硅芯清洗目前通过人工冲洗然后进酸洗机(包括酸腐蚀、纯水漂洗、热风干燥等工序)清洗来达到清洗目的。由于酸在清洗中的反应消耗,为了保证清洗质量要求清洗完1200根硅芯后更换新酸。通过对沾污的类型以及清洗原理进行分析探讨,并采取相应的工艺改进措施;达到节约用酸量,减少排放,改善清洗质量的目的。


硅芯经过去头尾、线切割、脱胶、锥磨等工序加工至合格尺寸形状,加工中形成的沾污大致可分为三类:颗粒沾污,有机物沾污,金属元素的沾污,按目前的标准清洗工艺一次难以清洗干净,需延长酸腐蚀时间或重复酸酸腐蚀以保证清洗质量,不仅增加了酸的用量和清洗时间,且使硅芯的外形尺寸变小造成尺寸不合格。



改进后的硅芯清冼工艺采用无污染的物理方法作为预清洗,可有效去除硅芯表面附着的颗粒;用酸量为原来的50%,减少了排放和环境污染;使用自动化设备降低了工人的劳动强度。



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