微波干燥可以使物料内外同步受热，具有干燥速度快，干燥均匀的特点。但是干燥温度一般在70℃以上，容易造成物料糊化。真空干燥可以使物料在较低的温度下干燥，很好地保护了热敏性物料的有效成分，但是热传导速率慢，干燥成本高。微波真空干燥是集微波干燥和真空干燥于一体的新型干燥技术，它以微波作为热源，可克服真空干燥热传导慢的缺点。在真空环境下对物料进行干燥，大大降低了干燥温度，很好地保护了物料中的有效成分。综合起来具有干燥速度快，干燥品质好，干燥成本低等优点，是极具发展潜力的新型干燥技术。这样的优势使得它在食品、农产品和医药方面都有广泛的应用。

微波真空干燥设备一般包括干燥室、微波系统、真空系统、测量系统和控制系统。根据设备中物料所处的状态，可以分为静态型微波真空干燥设备和动态型微波真空干燥设备。静态型微波真空干燥设备是指物料是静止不动的。设计过一种微波真空干燥设备，保持物料静止不动，在微波源下面加了一个微波搅拌器，使微波能够更加均匀地作用于物料，但缺点是能装载的物料有限。曾经设计了一种对开门式微波真空干燥设备，外观呈长方体，物料进口和出口位于箱体的前后两端。微波发生器均匀地分布在箱体的侧面上，将物料装入多个干燥盒，依序从进口处加入，至到加满为止。干燥完成后加入未干物料的新干燥盒，将干燥过的物料推向物料出口处取出，解决了干燥设备装料的瓶颈问题，但是物料干燥时静止不动，容易出现受热不均的问题。动态型微波真空干燥设备就是物料是运动的。