（1）机械工业：郝亮[3]确定了航空发动机低涡轴零件超 声波纯水清洗的技术特点，并制定了提高 60%以上效率的 超声波清洗新工艺。王淼[4]研制了一种超声波全自动清洗 机，并解决了零部件篮提出水时有巨大噪声的问题。刘钦 等[5]对铍材料复杂结构零件超声波清洗工艺技术进行了研 究，在同一个超声波清洗槽中同时实现了 2 种频率清洗， 有效提高了清洗效率。 （2）医疗器械：王萍[6]选取从手术室回收的 160 套腔镜 手术器械，对照试验表明超声波清洗机能够高效清洗腔镜 手术器械；郑春丽[7]设计三组实验，研究不同清洗控制条件

下空腔车针的清洗效果，发现超声波清洗应用于空腔车针 清洗有助于提高车针清洗质量。 （3）电力工业：张志恒[8]认为电子行业中超高频超声波 清洗机，主要利用高频超声波推动液体粒子高速冲撞污物 进行超精密清洗；白静[9]指出锂电池转接头利用低频超声 波就可保证清洗质量并防止工件损坏。 2 超声波干式清洗技术的清洗原理和现应用领域 2.1 清洗原理 超声波干式清洗技术是一种高速气流与超声波共同 作用，对超精密待清洗件（如半导体器件，玻璃或硅基板 等）亚微米级别的污染物进行清洗的新型干式清洗技术[10]。 一般包括三大系统：（1）空气循环系统；（2）清洗件传送系 统；（3）超声清洗头。空气循环系统利用负压作用将新空气 不断吸入并净化后输入清洗头压力腔，同时利用离心力将 内部空气不断送出；清洗件传送系统将待清洗件传送给超 声波清洗头。 核心部件超声波清洗头主要有两类：一类空气流经特 殊设计的变截面流道时，经激流震荡生成超声波，但这种 超声波的强度弱，传递能量少。另一类内置超声波增幅器， 超声波空气在大小约 0.3mm 的出口处体积迅速膨胀，达到 一种“微型爆炸”的效果[11，12]。高速气流和超声波的共同作 用使污物微粒脱离悬浮，超声波的反射作用将微粒带动起 来，由清洗头的真空吸附腔吸走并分离，这种清洗方式杜 绝清洗剂对环境造成污染。