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昆山舒美- 超声波湿式和干式清洗技术对比分析

[导读]超声波干式清洗作为一个新兴清洗方式, 国内研究存在不足,检索较难;国际上日韩、欧美掌握着相关技术,且由于技术保密,公开资料很少,增加了检索难度。从有限的资料分析,该技术主要应用在液晶屏玻璃基板,电子半导体等需要高精密清洗的工业中

超声波湿式清洗技术的优点显而易见:清洗工序成熟, 产生了相关技术手册, 适合工业生产;对于清洗死角, 传统清洗效率仅有60%~70%, 高压水射流清洗也低于90%, 而湿式清洗效率高达98%;超声波湿式清洗技术应用广泛, 从事研究人员众多, 加快了它的发展。同时超声波湿式清洗的劣势也很明显:使用的化学清洗剂渗透能力有限, 清洗不彻底;工业生产通常要数台不同频率的清洗机联合, 增加成本;设备功率选择过低不产生空化泡, 过高则容易发生空化腐蚀损坏清洗件;高精密清洗只能用高频甚至兆频超声波清洗, 能耗大不环保。超声波干式清洗技术解决了这方面的问题:不需要另加清洗剂, 绿色环保;清洗无附加风干设备, 降低成本;清洗头性能持久, 维护成本低;非接触式清洗, 被清洗件免受损害;对于1um以上的尘粒去除率接近100%;电子工业中, 无二次污染, 满足超精密度清洗要求。唯一缺点就是目前国内只实现了超声波干式清洗机的“半国产化”, 超声波干式清洗头制造的核心技术仍然被日韩、欧美等发达国家限制。

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